轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)案例_半導(dǎo)體行業(yè)轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)前景
最近幾年,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)風(fēng)起云涌。一方面,中國(guó)半導(dǎo)體異軍突起。另一方面,全球產(chǎn)業(yè)面臨超級(jí)周期,加上人工智能等新興應(yīng)用的崛起,大批的外資企業(yè)在中國(guó)設(shè)立其制造基地,特別是近年來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的大舉進(jìn)入,其全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)環(huán)境溫度、濕度、潔凈度有較高的要求, 需要我們提供一個(gè)比較有效且比較低能耗的空調(diào)系統(tǒng), 特別需要有低濕度的空調(diào)環(huán)境保證。
半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間要求在全年四季的氣候條件下,維持相對(duì)穩(wěn)定的環(huán)境,包括溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)。有別于其他行業(yè)的恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng),由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電比較敏感和品質(zhì)受高濕度環(huán)境的影響比較大,因此半導(dǎo)體行業(yè)要求更低的相對(duì)濕度環(huán)境。
通常半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間的溫濕度要求為: T=22±2°C,RH=45 ±5%;雖然采用傳統(tǒng)的冷凍除濕 +電加熱(再熱)方式進(jìn)行處理,也取得了一定成果。但這種方式存在一個(gè)致命的能耗問(wèn)題,特別是半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。 針對(duì)這種情況,合肥鉑克空調(diào)采用新風(fēng)機(jī)組+轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)+組合式空調(diào)機(jī)組的技術(shù)方案, 達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求的同時(shí),并取得了顯著的節(jié)能效果。
冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)相結(jié)合,利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕,而利用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。充分發(fā)揮兩者的優(yōu)點(diǎn),揚(yáng)長(zhǎng)避短。冷卻除濕作為前期除濕,突出了冷卻除濕機(jī)高露點(diǎn)工況下能耗低的特點(diǎn),利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕,突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下,不受露點(diǎn)限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。
目前,空氣除濕主要有四種方式,通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高( RH>60~ 65%)的條件下,效果還是比較好,性能穩(wěn)定且能耗也比較低,目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45 ±5%)的地方,采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī),將不受空氣露點(diǎn)影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行,由于其再生耗能量也比較大,此種方案也不是最經(jīng)濟(jì)的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng),將其優(yōu)化組合,各取所長(zhǎng),互補(bǔ)所短,會(huì)更好的發(fā)揮其效能。